ASM IP 申请衬底处理方法专利, 形成保形膜

金融界2025年4月19日消息，国家知识产权局信息显示，ASMIP私人控股有限公司申请一项名为“4397.衬底处理方法”的专利，公开号CN119843246A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，提供了一种通过重复循环在反应室中的衬底的凹部上形成保形膜的方法，该循环包括形成第一膜，其包括供应硅源和反应物，并在供应硅源和反应物的同时从电源单元向反应室施加第一功率，通过在供应反应物的同时从电源单元向反应室施加第二功率来处理第一膜，其中以脉冲模式施加第一功率，其中电源单元包括匹配网络，该匹配网络包括电子可变电容器。

本文源自：金融界

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